设备主要配置：技术指标
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规格型号 |
PHOENIX Quadro TRIVAC D2.5E |
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真空模式可检测的氦泄漏率 |
5x10-12mbar l/s |
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响应时间 |
＜1 s |
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入口压力 |
15 mbar |
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抽氦速度ULTRA |
＞3.1 l/s |
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可检测的气体 |
4He、H2、质量数3 |
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吸枪的模式可检测的氦泄漏率 |
1x10-8mbar l/s |
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吸枪SL300的气流量 |
20-25 sccm |
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测量范围 |
12个数量级 |
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启动时间 |
110 s |
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离子源 |
双灯丝 |
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