真空负压设备
真空应用设备～在真空环境下(低于一个大气压的气体状态)，应用的各种设备
A、真空镀膜机：蒸发镀膜机、磁控溅射镀膜机、离子镀膜机和等离子化学沉积装置等。
B、真空冶炼炉：电阻炉、电子束炉、电弧炉、感应炉和单晶炉等。
C、真空热处理炉：淬火炉、回火炉、退火炉、渗碳炉、渗氮炉和渗金属炉等D、其它真空设备：冷冻干燥设备、蒸馏设备、提纯设备、浸渍设备、果蔬保鲜设备、运输设备、空间模拟设备、包装机和钢水脱气装置等。
真空负压设备
正确地组合真空泵。有的时候选用一种泵不能满足抽气要求由于真空泵有选择性抽气，需要几种泵组合相互补充才能满足抽气的要求。如果钛升华泵对氢有很高的抽速，但是不能进行抽氦，而三极型溅射离子泵，(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对有一定的抽速两组合起来，则会使真空装置得到相应的真空度。
真空设备对油污染的要求。若设备明确要求无油时，应该选用各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等，如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染的措施。
真空干燥箱
真空干燥箱是通过真空泵将干燥物料所在的空间抽成负压即所谓真空状态。在真空状态，或低压状态下，物料中的水分、溶剂及其他挥发性组分的沸点降低，从而在较低温度状态下就可以脱离物料颗粒表面而被真空泵抽走。它主要应用在那些在高温下氧化、聚合及发生其他化学反应的物料。当然，它还有加热促使水分、溶剂及挥发性组分加快挥发从而脱离物料表面的双重作用。
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