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北京科创真空公司(图)-硅片除气装置价格-硅片除气装置

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  • 主营产品:氦检漏设备,中国·必威(西汉姆联)官方网站,LNG抽真空设备
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真空除气炉的构成介绍

本系统主要分为机械与电控两大部分。下面将详述各个部分构成。

机械部分主要由以下两个单元构成:真空箱室单元、真空获得系统单元。

真空箱室单元由真空箱、真空测量装置、加热烘烤组件、管道阀门等组成。

真空箱:采用304不锈钢材质制造,分为上中下三个独立的真空箱室,其内表面在加工后经除油、电抛光处理,保证了较少的藏气,提高了真空箱室的抽空效率和极限真空。真空箱室外部有加强筋,保证真空箱室承压能力。每个真空箱室门中间部位各具有一个Φ100石英观察窗,真空箱室与真空获得系统采用柔性软管连接,方便快捷,并减少震动。真空箱室开门为上中下三开门,氟胶圈型式密封,向右侧侧开门。


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真空除气存储柜工艺流程

真空除气存储柜、真空除气炉的控制操作可以选择手动与自动两种模式。

该设备有两种工艺流程:常温保压工艺与加热除气工艺。用户可根据实际情况需要,在设备上设定需要的执行功能与详细的目标参数。当用户设定参数之后,系统即按照用户的设定参数默认执行。

设备具有很高的智能化,当用户设定的参数目标值存在错误或逻辑冲突时,系统会及时提醒并不能按照错误的数据启动运行设备。并可以提供20+组不同的参数组,供客户选择和修改。并且具备工艺记忆功能,方便客户的使用。


真空除气炉、真空存储柜的使用环境

使用环境

① 设备占地面积约:长2米,宽1.6米(约3.2平米)高1.95米;

② 电源:380 V±38 V,50 Hz±0.5 Hz,约15KW(外部电源用户自备);

③ 工件要求:无油污,无腐蚀性物质;

④ 环境温度:   5 ℃ ~ 35 ℃;

⑤ 相对湿度:  20%-85%;

⑥ 设备应安装在通风良好的厂房内。