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北京半导体真空腔体加工-科创真空-半导体真空腔体加工多少钱

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真空腔体

磁体腔体从2000L液氦减少到7L液氦,那正常磁体里面不放液氦放成低温氦气不就行了,反正超导线圈的超导温度也高于4K,这个技术国产厂家都有。

回答:从实验室的角度来看这句话说的没错,而且国产厂家新xxx也已经有类似的技术面世了,但是这仅仅是理论。具体来看为了保持磁体内部始终处于氦气的状态,那就需要冷头控制磁体腔体的温度在一个非常小的范围,既不能液化,也不能温度过高,那么冷头需要重新制作甚至需要多冷头共同工作。同时氦气在腔体内可不是静止不动的,而是随着冷头热交换进行复杂的湍流,因此造成的结果就是基本几个小时可能就会失超,那么这种技术就不具备工程应用价值。



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真空检漏的具体方法

极限压力合格,升压率不合格极限压力合格说明设备没有明显漏点,且真空系统的抽气性能正常。升压率不合格,主要原因是从粗抽阀到炉体有一些较小的漏点,通常在1×10-9~9.9×10-4Pa·m3/s之间。检漏步骤为:

①用力按压气袋从粗抽阀开始向炉体方向喷吹氦气,遍针头移动的速度可以快些,对设备的全部焊口、法兰连接、动密封、热电偶连接等处进行检漏,在焊口不规整及法兰连接缝隙不均匀处将喷吹移动速度放缓并进行细致检查。

②不按压气袋,用针头缓慢地对位置进行检查,漏孔会吸入针头中存有的少量氦气,观测检漏仪屏幕漏率值喷吹过程中的变化,找到漏率大且上升快的点即是漏点。

③向各个加热电极、炉体水套等通水腔体内喷吹氦气检查泄漏情况。若检漏多遍后升压率仍不合格,可以用塑料布、胶带对的焊口、法兰连接处、热电偶、电极等处进行包裹罩封,然后向罩中喷入氦气,观察检漏仪的漏率变化,如果缓慢上升,说明被包裹的位置存在漏点。



内漏和外漏怎样查?

内漏多发生在有水冷套的设备上,查外漏没有发现疑点。但是却有以下现象;机械泵的抽速明显偏低,真空计示值低,机械泵油很快乳化,真空室内的铁基零部件明显锈蚀,具备以上条件基本可以确定有内漏。有一台25kg中频炉,2X一70旋片泵和150罗茨泵两台泵加到一起抽也只能抽到l0Pa,150罗茨泵的作用显现不出来,没发现有外漏,却具备了机械泵油很快乳化,真空室内铁基件明显锈蚀的条件,解体设备清理干净后用通冷却水的方法查出是炉盖漏水。剩下就是查出漏点。先把内壁清理干净,再通冷却水,看有无湿润点,湿润处就是漏点。