真空箱式氦检漏设备 充气柜氦检漏设备 环网柜检漏设备
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系统严格按照客户的要求设计制造，采用模块化的设计，充分考虑客户的检漏要求，同时也尽可能采用标准化的模块和部件，保证了系统的可靠性和可维护性。真空箱式氦检漏设备适用对空腔电力工件进行氦质谱检漏SF6充注，首先对工件充注一定压强的干燥压缩空气或氮气，保压判大漏。大漏合格后，对工件和真空箱抽真空，被检工件充注氦气，应用真空箱法进行氦质谱气密性检测；然后将被检工件内的氦气回收循环使用、充注SF6。全电脑控制，全自动检测，排除操作者人为因素导致的误判。自动判断，声光提示。
本设备严格按照“用户技术要求”设计制造。
本设备适用对空腔电力工件进行氦质谱检漏、SF6及氮气充注，首先对工件进行真空内外压强抽空，真空法判大漏。大漏合格后，对工件和真空箱抽真空，被检工件充注氦气，应用真空箱法进行氦质谱气密性微检漏检测；然后将被检工件内的氦气回收循环使用、充注SF6及氮气工作气体。通过本装置判断出被检工件中的合格与不合格产品。
真空箱式氦检漏设备 充气柜氦检漏设备 环网柜检漏设备
主要技术参数及要求：
1、 真空箱尺寸：长00mm×宽00mm×高00 mm
充氦气压力：0.05Mpa（可调）
2、 工作节拍：＜40分钟/件
3、 箱内接口数量：大件1个工件接口。小件2个工作接口。
4、 氦气回收率：95%-98%
5、 可检漏率：≤2.8×10-6Pa m3/S
(报警漏率设置1×10-7Pam3/S时，应可检出)
6、 保压检测时间：（1-600S可调）
7、 工件真空≤1000Pa
8、真空箱检漏真空≤20 Pa
9、系统自身漏率：≤10-9 Pa m3/s
10、箱门开关方式：自动
真空箱体加送料车。料车尺寸高度需甲方确认。
用氦气作为氦质谱检漏气体的原因
1、氦在空气中及真空系统残余气体中的含量(在空气中约含5.2ppm)， 在材料出气中也很少，因此本底压力小，输出的本底电流也小。正因为本底小，由某些原因引起本底的波动，亦即本底噪声也
就小，因此微小漏率也就能反应出来，灵敏度高。
2、氦的质量小(相对分子质量为4)，易于穿过漏孔。这样，氦较除氢以外的其他气体通过同-漏孔的漏率就大，容易发现，灵敏度高。
半导体设备及材料需要检漏原因
1、半导体设备要求高真空，比如磁控溅射台、电子束蒸发台、ICP、PECVD等设备。出现泄漏就会导致高真空达不到或需要大量的时间，耗时耗力；
2、在高真空环境洁净度高、水蒸气很少。一旦出现泄漏周围环境中的灰尘和悬浮颗粒或尘埃就会对晶元造成污染，对半导体的特性改变并破坏其性能，因此在半导体器件生产过程中必须进行氦质谱检漏；
3、一些半导体设备要用到有毒或有腐蚀性的特殊气体，经过氦质谱检漏后，在低漏率真空条件下，这些气体不易外泄，设备能及时抽走未反应气体和气态反应产物，保障工作人员安全和大气环境。
4、芯片封装，一旦出现泄漏，芯片就会失效。
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