真空腔体常用的清洗方法
1、超声波清洗
超声波清洗是利用超声波在液体中的空化作用、加速度作用及直进流作用对液体和污物直接、间接的作用,使污物层被分散、乳化、剥离而达到清洗目的.
2、电解侵蚀清洗
电解侵蚀清洗类似于电解抛光,是指在溶剂中利用电解作用,清除金属部件表面上的薄锈或氧化膜等污染物,主要用于化学稳定性较高的合金部件,如不锈钢,耐热钢等.
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超声波抛光
超声波抛光将工件放入磨料悬浮液中并一起置于超声波场中，依靠超声波的振荡作用，使磨料在工件表面磨削抛光。超声波加工宏观力小，不会引起工件变形，但工装制作和安装较困难。超声波加工可以与化学或电化学方法结合。在溶液腐蚀、电解的基础上，再施加超声波振动搅拌溶液，使工件表面溶解产物脱离，表面附近的腐蚀或电解质均匀；超声波在液体中的空化作用还能够抑制腐蚀过程，利于表面光亮化。
真空腔体
真空阀门是在真空管道系统中使用的真空系统组件或真空阀设备，可重定向气流，调整气流大小并切断或连接管道。阀门可以在现场进行手动和远程控制，也可以通过电动，电磁驱动（电磁阀）进动和液压控制。真空阀门是介质循环或压力系统中用于调节介质流量或压力的设备。其功能包括断开或连接介质，控制流量，更改流量，更改介质流向，防止介质返回，控制压力或释放压力。真空阀门
真空阀门具有以下特征：
压力低于大气压，阀瓣压降不能超过1 kgf/cm2、介质的工作温度取决于设备的使用过程。通常，温度不超过-70？+ 150°C的范围。阀门（例如真空球阀）的基本要求是确保高度的连接密封以及紧凑的结构和垫片材料。
根据压力真空阀可分为4组：
1.低真空阀：中压p = 760？1mmHg；
2.中压真空阀：p = 1×10-3mmHg。
3.高真空阀：p = 1×10-4？1×10-7mmHg；
4.超高真空阀：p≤1×10-8mmHg。
真空阀门中真空波纹管截止阀是一种广泛使用的闭路阀，直径小于250毫米，阀杆线性运动。真空闸阀的限制更大，但这主要用于大直径的真空闸阀。有高真空蝶阀等。真空阀的关闭部分用橡胶密封圈或金属密封圈密封。波纹管真空截止阀的波纹管由不锈钢，黄铜，塑料和其他材料制成。小直径真空截止阀的关闭部分可用隔膜密封。高真空球阀可用于低和中真空。
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