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北京硅片除气装置-硅片除气装置多少钱-科创真空

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  • 主营产品:氦检漏设备,中国·必威(西汉姆联)官方网站,LNG抽真空设备
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真空除气储存柜设备简介

本设备是一种可以提供真空环境的储存设备,分为上中下三层箱室,均可独立工作。具备以下主要功能:

1. 对储存箱室抽真空;

2. 控制储存箱室恒压稳定;

3. 具备加热烘烤功能;

4. 温度、湿度、真空度自动检测记录功能;

5. 漏电保护、真空泵过载保护、电气互锁保护功能;

6. 具备自动和手动两种操作模式;

7. PLC控制,触摸屏操作


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真空除气炉的构成介绍

真空测量装置:采用复合真空计,使测量更加准确。

加热烘烤组件:采用铠装管加热,包括工件托盘及支架,箱室顶部中心测温。功率:9.5千瓦,控制精度:±1℃。

管道阀门:真空阀门、真空管道均采用304不锈钢材料制成,为获得较好的真空提供了必要的物质基础。

真空获得系统单元由前级泵、分子泵、管道阀门等组成。

前级泵:选用涡旋干式真空泵,无油运行,可为真空箱室提供洁净的真空环境。

分子泵:选用脂润滑复合分子泵,可为真空箱室提供高真空和洁净的真空环境。

管道阀门:真空阀门、真空管道均采用304不锈钢材料制成,为获得较好的真空提供了必要的物质基础。


真空除气炉、真空存储柜的质保

设备是一种可以提供真空环境的储存设备,分为上中下三层箱室,均可独立工作。

设备自正式验收合格之日起整机免费保修12个月。免费保修的范围包括:(1)在正常情况下,在保修期间内非人为因素引起的一切设备质量问题和自然磨损;(2)备品备件清单,供方提供备品备件清单上所列的备件各一套。(3)在保修期内由需方使用不当造成的维修,只收需方的材料费。