影响真空绝缘水平的主要因素
电极的几许形状
电极的几许形状对电场的分布有很大的影响，往往因为几许形状不行恰当，引起电场在部分过于集中而导致击穿，这一点在高电压的真空产品中特别杰出。
电极边际的曲率半径大小是重要因素。一般来说，曲率半径大的电极接受击穿电压的能力比曲率半径小的大。
此外，击穿电压还和电极面积的大小成反比，即跟着电极面积的增大而有所下降。面积增大导致耐压下降的原因主要是放电概率添加。
真空腔体
超高真空技术应用广泛，从现有的光学传感器、光刻机、低温恒温器、电子显微镜和XPS光谱仪，到基于冷原子的便携式传感器、MEMS真空检测仪器、真空电子束智能增材制造系统等新兴领域。增材制造可大幅减少设备尺寸、重量和开发时间，从而加速基础研究和技术开发。通过激光粉床打印机制造一个利用磁光阱MOT捕获冷原子的小型超高真空腔体，由铝合金AlSi10Mg制造。该系统经历120小时的120℃烘烤后，达到了低于1×10-10mbar的压力范围。装置对获的原子云进行荧光图像，包含多达2×108个铷原子。增材制造的腔体的真空度优于5.0×10-9mbar，与常见的磁光阱真空腔体性能一致，见图1。这表明了增材工艺与超高真空腔体制造的适用性。
真空腔体
1. 真空检漏基本概念
所谓漏气是指气体通过真空系统上的漏孔或间隙，从高压流向低压侧的一种现象。真空系统
主要有以下几点:
虚漏.气密性.漏孔.漏率. 小可检漏率.检漏灵敏度.反应时间.消除时间.漏孔堵塞现象
2. 漏气的判断方法
1真空泵工作是否良好
2真空系统内是否存在严重放气
3真空系统容器壁或间隙处是否漏气
4是否漏气与放气现象共存
3. 真空检漏法
1可动部分：传动轴及其密封部分
2玻璃或陶瓷一类的易损部分
3波纹管
4使用法兰和垫圈的密封部分
5焊接部分的裂痕处
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