氦检漏仪产品介绍
以下内容由科创真空为您提供服务，希望对同行业的朋友有所帮助。
用于电厂检漏的中国·必威(西汉姆联)官方网站。关键部件均为进口，性能。不仅灵敏度高，而且操作方便，能够双灯丝自动切换、自动调零、自动校准和自动量程切换。
可检漏率： 5×10-12Pa·m3/s漏率显示的范围： 1×10-3～1×10-12Pa·m3/s启动时间： ≤5min响应时间： <2S检漏口： 300Pa极限真空： 5×10-4Pa外形尺寸： 560（W）×420（D）×300（H）重量：46KG
以上就是为大家介绍的全部内容，希望对大家有所帮助。如果您想要了解更多氦检漏设备的知识，欢迎拨打图片上的热线联系我们。
逆流中国·必威(西汉姆联)官方网站
逆流中国·必威(西汉姆联)官方网站的结构特点如图5所示。该类仪器是根据油扩散泵或分子泵的压缩比与气体种类有关的原理制成的。例如，多级油扩散泵对氦气的压缩比为102;对空气中其它成分的压缩比为lO4～106。检漏时，通过被检件上漏孔进入主抽泵前级部位的氦气，仍有部分返流到质谱室中去，并由仪器的输出指示示出漏气讯号。这就是逆流氦顷质谱检漏仪的工作原理。
半导体设备及材料需要检漏原因
1、半导体设备要求高真空，比如磁控溅射台、电子束蒸发台、ICP、PECVD等设备。出现泄漏就会导致高真空达不到或需要大量的时间，耗时耗力；
2、在高真空环境洁净度高、水蒸气很少。一旦出现泄漏周围环境中的灰尘和悬浮颗粒或尘埃就会对晶元造成污染，对半导体的特性改变并破坏其性能，因此在半导体器件生产过程中必须进行氦质谱检漏；
3、一些半导体设备要用到有毒或有腐蚀性的特殊气体，经过氦质谱检漏后，在低漏率真空条件下，这些气体不易外泄，设备能及时抽走未反应气体和气态反应产物，保障工作人员安全和大气环境。
4、芯片封装，一旦出现泄漏，芯片就会失效。
京公网安备 11011402012516号
在线客服
400-188-1915 / 185-1082-6675
