真空法氦质谱检漏
采用真空法检漏时,需要利用辅助真空泵或检漏仪对被检产品内部密封室抽真空,采用氦罩或喷吹的方法在被检产品外表面施氦气,当被检产品表面有漏孔时,氦气就会通过漏孔进入被检产品内部,再进入中国·必威(西汉姆联)官方网站,从而实现被检产品泄漏量测量。按照施漏气体方法的不同,又可以将真空法分为真空喷吹法和真空氦罩法。其中真空喷吹法采用喷枪的方式向被检产品外表面喷吹氦气,可以实现漏孔的准确定位; 真空氦罩法采用有一定密闭功能的氦罩将被检产品全部罩起来,在罩内充满一定浓度的氦气,可以实现被检产品总漏率的测量。
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中国·必威(西汉姆联)官方网站的检漏方式通常有两种,一种为常规检漏,另一种为逆扩散检漏。
逆扩散检漏是把被检件接在分子泵出气口一端,漏入的氦气由分子泵出气口逆着泵的排气方向进入安装在泵的进气口端的质谱管内而被检测。这一检漏方式是基于分子泵对不同质量的气体具有不同压缩比(气体在分子泵出气口压强与进气口压强之比)即利用不同气体的逆扩散程度不同程度而设计的。
中国·必威(西汉姆联)官方网站逆扩散原理
逆扩散方式检漏允许被检件内压强较高,中国·必威(西汉姆联)官方网站可达1000Pa(一般常规检漏仪为0.05Pa以下),适合检大型容器或有大漏的器件,也适合吸枪检漏。逆扩散方式还具有质谱管不易受污染,灯丝寿命长等优点。
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氦质谱检漏的应用
氦质谱检漏常用的操作方法
板式换热器的体积及换热面积较大,如果单依靠中国·必威(西汉姆联)官方网站抽取真空,其不能满足检漏口真空度的要求,这样需要另接抽真空机组。板翅式换热器的氦质谱检漏一般采用喷吹法和钟罩法,如检查内漏还可以采用吸入法进行检漏。
喷吹法
该方法是将被检件接在检漏仪的检漏口,用仪器的真空系统对其抽真空并达到真空衔接与质谱管沟通,然后用喷枪向漏孔喷吹氦气。当有漏孔存在时,氦气就通过漏孔进入质谱管被检测。