旋涡真空泵
旋涡真空泵是一种流量小、扬程高的叶片泵，效率低，性能曲线陡降，与其他叶片泵相比，旋涡泵结构简单、体积小、重量轻，具有自吸能力或借助于简单装置实现自吸。适用于输送黏度小于15°E的无固体颗粒的清洁液体。
旋涡真空泵它主要由叶轮、泵体、泵盖等组成。泵体和叶轮间形成环形流道，液体从吸入口进入，通过旋转的叶轮获得能量，从排出口排出。吸入口和排出口间有隔板，隔板与叶轮间有很小的间隙，吸入口与排出口是隔开的。
涡旋式真空泵
涡旋式真空泵是新一代的真空泵。它具有很高的压缩比，在较宽的压力范围内有稳定的抽速，涡旋式真空泵是两条渐开线螺旋曲线盘构成，即一个静涡旋盘和一个动涡旋盘。动涡旋盘作偏心安装，静涡旋盘与动涡旋盘便形成月芽形腔体。随着动涡旋盘转动，月芽形腔体不断向里旋转压缩，然后从中间排出至出气口。动涡旋盘连续运转，气体不断从进气口吸入、压缩，由出气口排出，形成真空。
涡旋真空泵的应用领域
涡旋泵已被广泛应用于诸多领域:
品行业：升华、干燥、脱水、真空蒸发、真空保鲜、真空包装等。
科研院所：旋蒸、蒸馏、精馏、聚合、负压抽滤、真空干燥、中试装置、风洞试验、真空环境模拟等。
电子光伏：浸渍、真空镀膜、离子刻蚀、分子束外延等。
航天航空：钎焊、真空镀膜、电子束焊、风洞试验、空间环境模拟等。
冶金行业：浸渍、挤出、真空镀膜、离子刻蚀、泥料脱气、钢水脱气、分子束外延等。
核工业：零泄露爪泵可抽除UF6气体
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