真空腔体加工检漏的办法
一、真空封泥检测法
用真空泥封住的漏点，此时要注意观察真空度的改变，假如贴上真空泥之后真空度上升较快，拿掉之后又有了显着的下降，这说明就是一个漏点哦。然而，这个办法在实际检测顶用的比较少
二、真空计检漏法
部分真空计的读数与气体种类有关，例如电离真空计，热偶计。用合适的气体或许液体做示漏物质，这些真空计就成了探测器，一般镀膜机上都会有真空计，在实际使用中也是比较常用的检漏办法。热偶计的示漏物质有二氧化碳，丁烷，酒精等，热偶计的反响比较慢，要仔细观察。用于电离计的示漏物质主要有氦，，酒精等。
真空腔体
粒子的真空管长度可达几十公里，涉及众多学科领域，是超高真空和高真空技术的典型代表。作为粒子理论的研究平台，科学装置发展了半个多世纪。除用于基础研究外，的各种束线已广泛应用于、高分辨率动态成像等领域，实现了科研与产业的结合。真空管运输作为未来交通的发展方向倍受关注，管路直径可达5米。这类应用的长远意义在于为人类在地外星球建设基地进行探索，积累技术经验。
真空设备应用领域广泛。如何处理各种复杂问题?
现在真空设备的应用领域愈来愈广，很多是与电、电磁、水、气源和制冷有关的。不论是真空炉还是镀膜设备都会碰到电气部分出问题。相当多的情况下不是电源部分的问题，这一点让人不好理解。其中有的是机械装配中不细心造成的，有的是绝缘材料或结构上的问题。这时，不要急于下结论，不要急于拆卸设备，应认真分析故障现象或请教专门从事此项工作的人员。避免误拆误卸造成不必要的损失。有一台设备，工作时发生放电现象，经过对工作记录的分析和与操作者的交流，得出不同的结论，有人认为电源有问题，有人认为是装配过程的问题。，对设备进行了拆卸，重新装配后放电现象消除了。有一台磁控溅射镀膜机，下半部的产品明显好于上半部的，靶的外表看不出什么问题来，拿高斯计一试，上半部磁环退磁了。经检查原来是水路出了问题。调整了水路，换了磁环，产品上下一致的问题得到了解决。
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