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北京科创真空公司(图)-硅片除气装置公司-硅片除气装置

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  • 主营产品:氦检漏设备,中国·必威(西汉姆联)官方网站,LNG抽真空设备
  • 公司地址:北京市昌平区科技园区仁和路4号3幢321房间
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信息详情

真空除气储存柜的技术参数

1. 腔室内尺寸:①②号宽1050x高200x深700mm  ③号宽1050x高380x深700mm;

2. 极限真空度:2×10-5Pa;

3. 加热烘烤:200-800℃烘烤除气功能,±3℃;

4. 整体结构型式:泵箱一体,三个腔室;

5. 观察窗:每一个箱室均配一个Φ100观察窗,材质为石英玻璃,透光好;

6. 控制方式:一室一泵配置,自动保持真空,可手动独立控制工作;

7. 异常报警功能:具有自动监控各部分的运行状态功能,异常诊断报警,故障诊断,并停止设备运行的功能。


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真空除气储存柜通过以下技术方案得以实现

一种真空除气存储柜,包括真空室、真空系统、加热系统、水冷、柜体等,柜体内设置有一个或多个储物室,储物室朝向柜体前端的一端为储物室的开口端,柜体上设置有将储物室的开口端封闭的封盖,储物室的内部底端设置有能够自储物室的开口端抽出的水平的托板,托板的两侧与储物室内部相对的两个侧壁滑动相连,真空除气炉。


真空除气炉、真空存储柜的保养维护

保修期满后,供方将以优惠价格向用户提供备品备件,并对设备提供终身有偿技术和维修服务;

设备安装调试时,对用户进行技术培训,培训内容包括设备的工作原理、操作、安全、维修、质控等。

设备日常维护包括真空泵的油位检查、电机有无异响、电压电流是否正常、水冷机制冷与流量是否存在异常。真空室内保持清洁,不得有灰尘、异物或者溅入液体以及腐蚀性物质。应当定期对箱室清洁,可以进行酒精擦拭、氮气吹扫等。