真空腔体常用的清洗方法
1、超声波清洗
超声波清洗是利用超声波在液体中的空化作用、加速度作用及直进流作用对液体和污物直接、间接的作用,使污物层被分散、乳化、剥离而达到清洗目的.
2、电解侵蚀清洗
电解侵蚀清洗类似于电解抛光,是指在溶剂中利用电解作用,清除金属部件表面上的薄锈或氧化膜等污染物,主要用于化学稳定性较高的合金部件,如不锈钢,耐热钢等.
3、蒸汽脱脂清洗
蒸气脱脂指被粘物表面用餐剂的蒸气不断清洗以达到脱脂的目的,适用于表面类脂膜和油脂膜的清洗,操作方法简单,可以实现大批量清洗.一些带有牢固附着物或污染较为严重的基片在擦洗或超声波清洗后,用蒸汽脱脂清洗可以实现很好的清洗效果.
影响真空绝缘水平的主要因素
真空度
显现了空隙击穿电压和气体压强之间的关系。由图可以看到真空度高于10-2Pa时，击穿电压基本上不再跟着气体压力的下降而增大，因为气体分子碰撞游离现象已不复兴效果。当气体压力从10-2Pa逐步升高时(真空度下降)，击穿强度逐步下降，以后又随气压的而。从曲线上可以看出真空度高于10-2Pa时其耐压强度基本上坚持不变。这就标明，真空灭弧室的真空度在10-2Pa以上时完全可以满足正常的运用需求。
真空腔体
真空阀门是在真空管道系统中使用的真空系统组件或真空阀设备，可重定向气流，调整气流大小并切断或连接管道。阀门可以在现场进行手动和远程控制，也可以通过电动，电磁驱动（电磁阀）进动和液压控制。真空阀门是介质循环或压力系统中用于调节介质流量或压力的设备。其功能包括断开或连接介质，控制流量，更改流量，更改介质流向，防止介质返回，控制压力或释放压力。真空阀门
真空阀门具有以下特征：
压力低于大气压，阀瓣压降不能超过1 kgf/cm2、介质的工作温度取决于设备的使用过程。通常，温度不超过-70？+ 150°C的范围。阀门（例如真空球阀）的基本要求是确保高度的连接密封以及紧凑的结构和垫片材料。
根据压力真空阀可分为4组：
1.低真空阀：中压p = 760？1mmHg；
2.中压真空阀：p = 1×10-3mmHg。
3.高真空阀：p = 1×10-4？1×10-7mmHg；
4.超高真空阀：p≤1×10-8mmHg。
真空阀门中真空波纹管截止阀是一种广泛使用的闭路阀，直径小于250毫米，阀杆线性运动。真空闸阀的限制更大，但这主要用于大直径的真空闸阀。有高真空蝶阀等。真空阀的关闭部分用橡胶密封圈或金属密封圈密封。波纹管真空截止阀的波纹管由不锈钢，黄铜，塑料和其他材料制成。小直径真空截止阀的关闭部分可用隔膜密封。高真空球阀可用于低和中真空。
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