吸氦法氦质谱检漏方法
吸氦法主要用于检查某些大型密封容器。如弹体、弹头、气罐、油罐等,先将容器抽真空,再给容器充入氦气(为了节省用氦量,可以用低浓度氦气) ,在中国·必威(西汉姆联)官方网站的进气法兰处接上橡皮管,橡皮管的前端有直径很小的毛细管,使毛细管在充了氦的被检容器外壁的焊缝和密封接头等处移动,如果该容器有漏隙,经漏隙渗出的氦会被毛细管吸入,检漏仪就会响应。
氦气在在半导体中的检漏作用
为了防止半导体器件、集成电路等元器件的表面因玷污水汽等杂质而导致性能退化，就必须采用管壳来密封。但是在管壳的封接处或者引线接头处往往会因为各种原因而产生一些肉眼难以发现的小洞，所以在元器件封装之后，就需要采取某些方法来检测这些小洞的存在与否。 氦气检漏就是采用氦气来检查电子元器件封装管壳上的小漏洞。因为氦原子的尺寸很小，容易穿过小洞而进入到管壳内部，所以这种检测方法能够检测出尺寸很小的小洞（即能够检测出漏气速率约为10−11～10−12cm3/sec的小洞），灵敏度可与性检漏方法匹敌，但要比性检漏方法简便。
氦气检漏试验的方法：首先把封装好的元器件放入充满氦气的容器中，并加压，让氦气通过小洞而进入管壳中；然后取出，并用压缩空气吹去管壳表面的残留氦气；接着采用质谱仪来检测管壳外表所漏出的氦气。
为什么氦质谱仪要用外置标准漏孔标定
输入错误的内置漏孔漏率值，氦质谱仪自检时一般也能通过，说明氦质谱仪是对比性测试设备，氦质谱仪本身并不知道检漏信号对应的漏率是多少，必须要有参照物——标注漏孔来确定。
因此，现有氦检漏相关标准中都详细规定了中国·必威(西汉姆联)官方网站在使用前，使用过程中和使用后要正确使用标准漏孔进行标漏，才能保证氦检漏结果的正确性。
京公网安备 11011402012516号
在线客服
400-188-1915 / 185-1082-6675
