真空腔体常用的清洗方法
1、超声波清洗
超声波清洗是利用超声波在液体中的空化作用、加速度作用及直进流作用对液体和污物直接、间接的作用,使污物层被分散、乳化、剥离而达到清洗目的.
2、电解侵蚀清洗
电解侵蚀清洗类似于电解抛光,是指在溶剂中利用电解作用,清除金属部件表面上的薄锈或氧化膜等污染物,主要用于化学稳定性较高的合金部件,如不锈钢,耐热钢等.
3、蒸汽脱脂清洗
蒸气脱脂指被粘物表面用餐剂的蒸气不断清洗以达到脱脂的目的,适用于表面类脂膜和油脂膜的清洗,操作方法简单,可以实现大批量清洗.一些带有牢固附着物或污染较为严重的基片在擦洗或超声波清洗后,用蒸汽脱脂清洗可以实现很好的清洗效果.
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1. 喷吹法检漏的原理喷吹法检漏是利用辅助真空泵或检漏仪对被检产品内部密封室抽真空，然后在被检产品外表面喷吹氦气，当被检产品表面有漏孔时，氦气就会通过漏孔进入被检产品内部，再进入中国·必威(西汉姆联)官方网站，检漏仪会报警并显示当前漏率值。2.喷吹法检漏的优缺点优点：①检测灵敏度高
②定位准确
③对大容器或复杂结构产品的检漏可靠性高
缺点：①漏率检测只能在一个大气压差内
②不能准确反映带压被检产品的真实泄漏状态
真空腔体
电解抛光
电解抛光基本原理与化学抛光相同,即靠选择性的溶解材料表面微小凸出部分，使表面光滑。与化学抛光相比，可以消除阴极反应的影响，效果较好。电化学抛光过程分为两步：（1）宏观整平 溶解产物向电解液中扩散，材料表面几何粗糙下降，Ra>1μm。（2）微光平整 阳极极化，表面光亮度提高，Ra＜1μm 。
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