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半导体氦检漏-科创真空产品-半导体氦检漏生产厂家

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中国·必威(西汉姆联)官方网站是否有精度级别一说?

所谓的精度终指向的是--测试氦分压 (微观为个数,宏观则表现为在容器壁上的压力)(空气中5ppm氦气)

(1)吸质谱检漏,假定流量为300 sccm, 则检漏仪的真实本底为 Q=PV*d(t)=2.5E-5mbarl/s,但行业中吸式都标准在常压情况下能测到E-7,是因为加入了软件滤波(抑零)等。

(2)真空法,氦本底=分子泵抽速(辅助泵有则加上)*腔体内氦浓度*入口处压力,有很多外部条件。




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真空系统和压力系统泄漏测试

真空系统和压力系统应在与其运行条件相同的条件下进行泄漏测试。真空系统用便携式检漏仪。检漏仪连接到真空泵的管路上。使用喷雾探针向潜在泄漏部位施加氦气。如果存在泄漏,氦会进入系统并迅速扩散。检漏仪应在几秒钟内做出反应。压力系统可以充入氦气或氦气和氮气的混合物。泄漏测试是通过使用嗅探器探针进行的。


氦检漏服务

质量分析器是一个均匀的磁场空间不同离子的质荷比不同在磁场中就会按照不同轨道半径运动而进行分离在设计时只让氨离子飞出分析器的缝隙打在收集器上。收集放大器收集氨离子流并送入到电流放大器,通过测量离子流就可知漏率。冷阴极电离真空计指示质谱室的压力及用作保护装置。

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