真空腔体加工检漏的办法
一、真空封泥检测法
用真空泥封住的漏点，此时要注意观察真空度的改变，假如贴上真空泥之后真空度上升较快，拿掉之后又有了显着的下降，这说明就是一个漏点哦。然而，这个办法在实际检测顶用的比较少
二、真空计检漏法
部分真空计的读数与气体种类有关，例如电离真空计，热偶计。用合适的气体或许液体做示漏物质，这些真空计就成了探测器，一般镀膜机上都会有真空计，在实际使用中也是比较常用的检漏办法。热偶计的示漏物质有二氧化碳，丁烷，酒精等，热偶计的反响比较慢，要仔细观察。用于电离计的示漏物质主要有氦，，酒精等。
真空腔体
真空阀门是在真空管道系统中使用的真空系统组件或真空阀设备，可重定向气流，调整气流大小并切断或连接管道。阀门可以在现场进行手动和远程控制，也可以通过电动，电磁驱动（电磁阀）进动和液压控制。真空阀门是介质循环或压力系统中用于调节介质流量或压力的设备。其功能包括断开或连接介质，控制流量，更改流量，更改介质流向，防止介质返回，控制压力或释放压力。真空阀门
真空阀门具有以下特征：
压力低于大气压，阀瓣压降不能超过1 kgf/cm2、介质的工作温度取决于设备的使用过程。通常，温度不超过-70？+ 150°C的范围。阀门（例如真空球阀）的基本要求是确保高度的连接密封以及紧凑的结构和垫片材料。
根据压力真空阀可分为4组：
1.低真空阀：中压p = 760？1mmHg；
2.中压真空阀：p = 1×10-3mmHg。
3.高真空阀：p = 1×10-4？1×10-7mmHg；
4.超高真空阀：p≤1×10-8mmHg。
真空阀门中真空波纹管截止阀是一种广泛使用的闭路阀，直径小于250毫米，阀杆线性运动。真空闸阀的限制更大，但这主要用于大直径的真空闸阀。有高真空蝶阀等。真空阀的关闭部分用橡胶密封圈或金属密封圈密封。波纹管真空截止阀的波纹管由不锈钢，黄铜，塑料和其他材料制成。小直径真空截止阀的关闭部分可用隔膜密封。高真空球阀可用于低和中真空。
故障点找出后怎么处理?
找出故障点就可以因地制宜地进行处理了，简单的办法是换件，小到胶圈、螺栓，大到阀门、真空泵，只要手头上有的都可以换；对于需要焊接的部位应按要求来进行，焊接后还需确认达到了要求。
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