半导体真空腔体的应用
中国半导体真空腔体市场近几年快速发展,越来越多的公司也表达了进入芯片领域的兴趣.以存储芯片为例,以前中国国内存储芯片完全靠进口,今年福建晋华集成电路的内存生产线有望投产,另外长江存储科技公司也在建设内存和闪存芯片生产线.格力、康佳等传统家电企业也表示,将进入芯片领域.
据国际半导体设备与材料协会报告显示,中国目前正在天津、西安、北京、上海等16个地区打造25个FAB建设项目,福建晋华集成电路、长江存储科技公司等企业技术水平虽不及韩国,但均已投入芯片量产.报告预测,今年中国半导体设备市场规模有望达118亿美元,实现同比43.9%的增长,并且明年市场规模有望扩大至173亿美元,增长46.6%,成为大市场.而同一时期内韩国的半导体设备市场规模从179.6亿美元减少至163亿美元,减幅为9.2%.中国超越韩国成为全球很大半导体设备市场.
真空腔体
真空阀门出现断头螺栓的解决方法
1.锉方榫拧出法和管子钳拧出法，适用于螺栓在螺孔外有5mm以上高度的断头螺栓。
2.点焊拧出法适用于断头螺栓在螺孔外或断头螺栓与螺孔相平的条件下，它是由钻有比螺孔小的孔的扁钢制成，点焊填满孔后拧出。
3.方孔楔拧出法适用于断在螺孔内的螺栓，方法是先将螺栓中间钻一小孔，用方孔锥具敲人小孔中，然后拧出。
4.钻孔攻丝恢复法适用于无法取出螺栓的情况，它是先将真空阀门中螺栓断面整平，打样冲后，用比螺纹内径稍小的钻头钻孔，按原螺纹攻丝而成。
5.断头螺栓在采用以上拧出方法之前，应采取一些常规措施，如煤油浸透、清理表面油污锈迹(这点特别对点焊的拧出法更重要，否则焊不牢)。要时，还可将真空阀门的螺栓周围加热，在热塑的条件下将螺栓拧出。对断头螺栓的拧出还可以采用化学腐蚀方法，适当清洗锈死和腐蚀的螺栓、螺孔，会加速断头螺栓的拧出(拧出螺栓后应用水冲洗螺孔，以免残存化学药剂腐蚀阀件)。
维修应注意哪些环节?
维修应注意拆卸、清洁、检验、装配等环节。真空设备无论大小都属于精密机械设备，这点很重要。拆卸应遵循轻拿轻放的原则，不能蛮干，一定不能用大锤去敲；清洗零件时要干净、，以便于发现问题和查出隐患；真空泵类产品与一般机械产品有较大区别，一般机械产品多倒楞倒角，而真空泵的楞角分明，很易伤手，应多加小心，切记。
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