真空腔体
一般真空腔体内部是规则的长方体,用一面加热进行热辐射的方式热传导不能合理涵盖整个腔体的内部空间,所以效果不是很理想,.经过试验论证,采取在真空腔体内正上方、正下方、左侧面、右侧面各安装一套加热板加热的方法,采用面对面热辐射方式对腔体内部进行加热.
由于设备在真空状态下采用了上,下,左,右四面四路加热的方法,比单纯一路加热就要复杂多了,这也是温度控制的难点.因此采用PID来进行温度控制调节,控温热偶设置在腔体内部,这样可以更好地控制真空腔体内的温度.





真空腔体
超高真空技术应用广泛,从现有的光学传感器、光刻机、低温恒温器、电子显微镜和XPS光谱仪,到基于冷原子的便携式传感器、MEMS真空检测仪器、真空电子束智能增材制造系统等新兴领域。增材制造可大幅减少设备尺寸、重量和开发时间,从而加速基础研究和技术开发。通过激光粉床打印机制造一个利用磁光阱MOT捕获冷原子的小型超高真空腔体,由铝合金AlSi10Mg制造。该系统经历120小时的120℃烘烤后,达到了低于1×10-10mbar的压力范围。装置对获的原子云进行荧光图像,包含多达2×108个铷原子。增材制造的腔体的真空度优于5.0×10-9mbar,与常见的磁光阱真空腔体性能一致,见图1。这表明了增材工艺与超高真空腔体制造的适用性。
真空泵
为解决未来的能源危机,欧盟、中国、日本、美国、俄罗斯、印度、韩国七国主导的等离子体核聚变装置国际合作项目,至2025年,将完成核聚变装置ITER样机运行,产生核聚变能,输出电能500MW(7分钟),相对50MW的电力输入,ITER装置将实现自循环加热;至2036年,建成更大功率的核聚变装置DEMO,输出4000MW,实现商业应用。