真空箱式氦检漏系统【工作环境】
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真空箱式氦检漏系统【工作环境】
工作环境:
1、长×宽×高(设备占地面积约):依据实物实际面积为准。
2、电源:380 V±38 V,50 Hz±0.5 Hz,约22KW;
3、压缩气源及减压器:0.6~0.8Mpa氮气或干燥清洁压缩空气;
4、待检工件要求清洁、干燥。
5、环境温度: 5 ℃ ~ 35 ℃;
6、相对湿度: ≤80%;
7、氦气源及减压器:氦气纯度为 99%。
8、设备应安装在通风良好的厂房内。





用氦气作为氦质谱检漏气体的原因
1、氦在空气中及真空系统残余气体中的含量(在空气中约含5.2ppm), 在材料出气中也很少,因此本底压力小,输出的本底电流也小。正因为本底小,由某些原因引起本底的波动,亦即本底噪声也
就小,因此微小漏率也就能反应出来,灵敏度高。
2、氦的质量小(相对分子质量为4),易于穿过漏孔。这样,氦较除氢以外的其他气体通过同-漏孔的漏率就大,容易发现,灵敏度高。
氦检漏设备
氦罩法
在这种方法中,用塑料薄膜包裹被测容器,首先除去罩子中的空气,然后充入氦气或氦气混合气体,检漏仪与被测容器的内部连接,当检漏仪显示泄漏率时,指示泄漏。这个泄漏率称为总泄漏率。总泄漏率是所有泄漏率的总和。如果总泄漏率不超过标准值,则每个泄漏率不超过标准值;如果总泄漏率超过标准值,检查每个点的泄漏率是否超过标准值。然后调整修改超过标准值的泄漏孔,直至达到合格标准。