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硅片除气装置品牌-福建硅片除气装置-科创真空产品

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  • 主营产品:氦检漏设备,中国·必威(西汉姆联)官方网站,LNG抽真空设备
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真空除气储存柜设备简介

本设备是一种可以提供真空环境的储存设备,分为上中下三层箱室,均可独立工作。具备以下主要功能:

1. 对储存箱室抽真空;

2. 控制储存箱室恒压稳定;

3. 具备加热烘烤功能;

4. 温度、湿度、真空度自动检测记录功能;

5. 漏电保护、真空泵过载保护、电气互锁保护功能;

6. 具备自动和手动两种操作模式;

7. PLC控制,触摸屏操作


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真空除气储存柜的技术参数

1. 腔室内尺寸:①②号宽1050x高200x深700mm  ③号宽1050x高380x深700mm;

2. 极限真空度:2×10-5Pa;

3. 加热烘烤:200-800℃烘烤除气功能,±3℃;

4. 整体结构型式:泵箱一体,三个腔室;

5. 观察窗:每一个箱室均配一个Φ100观察窗,材质为石英玻璃,透光好;

6. 控制方式:一室一泵配置,自动保持真空,可手动独立控制工作;

7. 异常报警功能:具有自动监控各部分的运行状态功能,异常诊断报警,故障诊断,并停止设备运行的功能。


真空除气储存柜的加热系统

1、加热区尺寸:定制

2、加热功率:30-80 KW(实际功率可调)

3、加热元件:钼片

4、隔热组件:钼+不锈钢

5、温度测量:S型热电偶

6、控温精度:±1℃

7、升温速率 :由室温升至1000℃小于80min(空载)

8、加热室:采用圆筒形加热室结构。隔热屏采用多层钼结构,各层之间采用99刚玉陶瓷,发热体为钼片,钼片均匀环绕在隔热屏周围,实现良好的温度均匀性。具有使用寿命长、隔热保温性能好、真空放气量较少。外框使用不锈钢(310S)板材料,并且焊接多道加强筋以保证不变形。

9、加热控制:采用PID智能控温模块设计,可编辑30+段升温曲线,存贮20+组工艺配方,组合PLC等实现超压、超温、过流等自动报警保护功能,10寸液晶触摸屏显示操作,具有操作方便,功能强大,稳定性好等特点。