真空除气装置的泵和电机的安装
真空泵在安装前，先用手转动一下联轴器，以证实泵内是否有卡住及其它损坏现象，如无，将泵安装在泵座上。电机固定在泵座上以前，应校正电机轴与泵轴的同心度。因为电机轴和泵轴即使是较小的倾斜也会引起轴承发热和零件的严重磨损等后果。将直尺平行放在联轴器上，在整个圆周的任何位置都与联轴器圆周密合没有间隙，且联轴器的轴向间隙都相等时，则达到了所要求的同心度。
真空除气装置及方法
真空除气装置及方法,包括支撑在波纹管支架上的法兰座,法兰座上连接有可伸缩的波纹管,波纹管的中心设有若干根通过固定的陶瓷支座支撑杆,陶瓷支座连接灯丝;支撑杆中心设有接线柱;在波纹管支架上设有波纹管驱动机构,波纹管驱动机构通过驱动轴螺纹连接平行板支架,通过驱动把手带动驱动轴转动,使得平行板支架的中部平行板沿轴向移动,从而带动连接在波纹管的后端法兰沿轴向移动,驱动波纹管伸缩移动,带动灯丝沿波纹管伸缩.利用真空加热源的热辐射与热电子的动能,从腔体内部给腔壁表面加热,显著加速了内壁表面吸附的气体分子及有机物的脱吸附进程.本发明提高了超高真空系统中的除气效率,具有结构操作简单的特点.
真空除气装置
真空除气装置,包括工作台,所述工作台上设有升降装置和电热辅助装置,工作台上设有移动装置,且移动装置具有可在工作台移动的物料盘,物料盘内设有阴极工件,电热辅助装置具有套设于阴极工件上的电热线圈.本实用新型的有益效果是:通过设置移动装置,能使滑块,物料盘和阴极工件左右移动,且在升降装置的配合作用下,达到使线圈升降且对待加热的工件自动化移动至电热线圈正下方,且使加热除气后的阴极工件移动至外部的目的,使该装置的自动化程度显著提高.
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