真空除气储存柜的简介
真空储存柜,所述真空存储柜包括多个储物室,微控制器,真空泵,真空管道,排气阀,放气阀和真空测量装置,所述储物室还设有真空室门传感器,用以产生真空室门开关信号,并将真空室门开关信号输出至微控制器
真空储存柜的真空系统,包括有箱体,控制器,若干个腔室,光电开关,真空计,一,二高真空挡板阀和粗,精抽真空管路,粗,精抽真空管路一方面与每个腔室上的一,二高真空挡板阀之间分别对应连接有一,二抽气管路,
真空除气储存柜技术参数
腔室内尺寸：①②号宽1050x高200x深700mm ③号宽1050x高380x深700mm；
极限真空度：2×10-5Pa；
加热烘烤：200-800℃烘烤除气功能，±3℃；
温度、湿度、真空度自动检测记录功能；
漏电保护、真空泵过载保护、电气互锁保护功能；
腔室内尺寸：①②号宽1050x高200x深700mm ③号宽1050x高380x深700mm；
极限真空度：2×10-5Pa；
加热烘烤：200-800℃烘烤除气功能，±3℃；
温度、湿度、真空度自动检测记录功能；
漏电保护、真空泵过载保护、电气互锁保护功能；
真空除气装置
真空除气装置,包括工作台,所述工作台上设有升降装置和电热辅助装置,工作台上设有移动装置,且移动装置具有可在工作台移动的物料盘,物料盘内设有阴极工件,电热辅助装置具有套设于阴极工件上的电热线圈.本实用新型的有益效果是:通过设置移动装置,能使滑块,物料盘和阴极工件左右移动,且在升降装置的配合作用下,达到使线圈升降且对待加热的工件自动化移动至电热线圈正下方,且使加热除气后的阴极工件移动至外部的目的,使该装置的自动化程度显著提高.
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