硅片除气装置原理
工作中旋转的转子将吹入铝水中的惰性气体（氮气）破碎成大量的弥散气泡，并使其分散在铝液中；气泡在熔液中靠气体分压差和表面吸附原理，吸收熔液中的氢，吸附氧化夹渣，并随气泡上升而被带出熔液表面，使熔液得以净化；由于气泡细小弥散，与旋转熔液均匀混合，并随之转动呈螺旋形缓慢上浮，与熔液接触时不会形成连续直线上升产生的气流，从而显著提高了净化效果。 气和氮气都可以作为对铝液进行除气。
真空除气储存柜的保养
机台在工作时，禁止放置酒精、接着剂等具有挥发性之物品之酸性物品在机台内，不要放入危险产品及易挥发有毒气体的产品。请勿在机台附近使用可燃性物品 ，防止意外发生；
本机器在做完试验后或工作后，一定要把试验室内的余物清除干净，以免下次试验及用机时给其它产品带来不利影响。要长期保持内外箱的洁净及干燥，同时断开主电源；
真空除气储存柜的检查
1、电源指示灯不亮，本机亦不工作时：检查保险丝是否烧坏，若有请更换新的保险丝；检查电源进电总开关是否有故障；
2、真空泵不工作：检查真空泵电源；检查真空泵电机是否烧坏；检查真空泵油。
3、真空抽不起来：检查真空手动阀是否打开；检查解压电磁阀是否关闭；检查门是否关好，并且密封； 检查排气开关是否已关上；检查气管接合处是否有漏气现象。
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