真空箱式氦检漏设备 充气柜氦检漏设备 环网柜检漏设备
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系统严格按照客户的要求设计制造，采用模块化的设计，充分考虑客户的检漏要求，同时也尽可能采用标准化的模块和部件，保证了系统的可靠性和可维护性。真空箱式氦检漏设备适用对空腔电力工件进行氦质谱检漏SF6充注，首先对工件充注一定压强的干燥压缩空气或氮气，保压判大漏。大漏合格后，对工件和真空箱抽真空，被检工件充注氦气，应用真空箱法进行氦质谱气密性检测；然后将被检工件内的氦气回收循环使用、充注SF6。全电脑控制，全自动检测，排除操作者人为因素导致的误判。自动判断，声光提示。
本设备严格按照“用户技术要求”设计制造。
本设备适用对空腔电力工件进行氦质谱检漏、SF6及氮气充注，首先对工件进行真空内外压强抽空，真空法判大漏。大漏合格后，对工件和真空箱抽真空，被检工件充注氦气，应用真空箱法进行氦质谱气密性微检漏检测；然后将被检工件内的氦气回收循环使用、充注SF6及氮气工作气体。通过本装置判断出被检工件中的合格与不合格产品。
真空箱式氦检漏设备 充气柜氦检漏设备 环网柜检漏设备
主要技术参数及要求：
1、 真空箱尺寸：长00mm×宽00mm×高00 mm
充氦气压力：0.05Mpa（可调）
2、 工作节拍：＜40分钟/件
3、 箱内接口数量：大件1个工件接口。小件2个工作接口。
4、 氦气回收率：95%-98%
5、 可检漏率：≤2.8×10-6Pa m3/S
(报警漏率设置1×10-7Pam3/S时，应可检出)
6、 保压检测时间：（1-600S可调）
7、 工件真空≤1000Pa
8、真空箱检漏真空≤20 Pa
9、系统自身漏率：≤10-9 Pa m3/s
10、箱门开关方式：自动
真空箱体加送料车。料车尺寸高度需甲方确认。
用氦气作为氦质谱检漏气体的原因
1.氦是惰性气体，不与被检件器壁起化学反应，不会污染被检件.使用安全。
2、在氮两侧的是氢(质荷比为2)和双电荷原子碳(质荷比为6)，质荷比都与氮相差较大。这样，它们在分析器中的偏转半径相差也大,容易分开，定标找氨峰时，不易受其他离子的干扰，因此就降低易于加工。同时，分析器出口电极及离子源加速极的隙缝也可以加大,使更多的氦离子通过，提高了仪器灵敏度。
氦检漏设备
（1）对于压氦法，不需要考虑地球干洁大气氦分压的影响。但是如果候检环境大气氦分压显著升高，对于内腔有效容积大，且等效标准漏率小的密封器件，会加大测量漏率值，所以压氦结束后，被检器件应尽快离开压氦设备所在的房间。
对于预充氦法，地球干洁大气氦分压会使测量漏率通过极大值后出现值，且当候检时间与内腔有效容积之比大于100 h/ cm3 时，值点仍处于分子流范围，不能靠粗检法鉴别，所以需辅以压氦法复检，才能防止漏检。
（3）地球干洁大气氦分压会使预充氦法候检时间的特征点变大，从而扩大了需要辅以压氦法复检的范围，但第二特征点不变，也不影响压氦法复检的结果。
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