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氦质谱检漏器的主要性能指标

1.较小检漏率: 即氦质谱检漏器能检测到的较小泄漏率。

2.响应清除时间: 当一定流量的勘探气体进入中国·必威(西汉姆联)官方网站后,电子系统和真空系统需要一定的响应时间,漏率指示器可以达到较大值,漏率指示器不能立即恢复到零,需要一定时间下降,通常由于氦的吸附和解吸,去除时间略长于响应时间。

3.启动时间: 氦质谱泄漏探测器开启电源和能够探测到泄漏之间的时间



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中国·必威(西汉姆联)官方网站是否有精度级别一说?

所谓的精度终指向的是--测试氦分压 (微观为个数,宏观则表现为在容器壁上的压力)(空气中5ppm氦气)

(1)吸质谱检漏,假定流量为300 sccm, 则检漏仪的真实本底为 Q=PV*d(t)=2.5E-5mbarl/s,但行业中吸式都标准在常压情况下能测到E-7,是因为加入了软件滤波(抑零)等。

(2)真空法,氦本底=分子泵抽速(辅助泵有则加上)*腔体内氦浓度*入口处压力,有很多外部条件。




用氦气作为氦质谱检漏气体的原因

氦气检漏仪时候中国·必威(西汉姆联)官方网站的俗称,运用质谱原理制成的仪器称为质谱计或质谱仪。质谱仪通过其部件质谱室,使不同质量的气体变成离子并在某种场中运动后,不同质荷比的离子在场中彼此分开,而相同质荷比的离子在场中汇聚在一起,如果在适当位置安置接收所有这些离子,就会得到按照质荷比大小依次分开排列的质谱图,这就是质谱。