真空腔体常用的清洗方法
1、放电清洗
放电清洗一般用于高真空、超高真空腔体清洗中.放电清洗的效果取决于电机材料、几何形状及其与表面的关系.利用电子轰击气体造成解吸以及某些碳氢化合物的去除.
2、氮气清洗
氮气清洗主要是利用了氮气在材料表面的吸附热小、吸留时间短,容易被抽走的特性,用氮气冲洗被污染的真空系统,同时挤占水气等其他气体分子的粘附空间,缩短真空系统的抽气时间.
半导体真空腔体的应用
中国半导体真空腔体市场近几年快速发展,越来越多的公司也表达了进入芯片领域的兴趣.以存储芯片为例,以前中国国内存储芯片完全靠进口,今年福建晋华集成电路的内存生产线有望投产,另外长江存储科技公司也在建设内存和闪存芯片生产线.格力、康佳等传统家电企业也表示,将进入芯片领域.
据国际半导体设备与材料协会报告显示,中国目前正在天津、西安、北京、上海等16个地区打造25个FAB建设项目,福建晋华集成电路、长江存储科技公司等企业技术水平虽不及韩国,但均已投入芯片量产.报告预测,今年中国半导体设备市场规模有望达118亿美元,实现同比43.9%的增长,并且明年市场规模有望扩大至173亿美元,增长46.6%,成为大市场.而同一时期内韩国的半导体设备市场规模从179.6亿美元减少至163亿美元,减幅为9.2%.中国超越韩国成为全球很大半导体设备市场.
真空腔体加工检漏的办法
一、真空封泥检测法
用真空泥封住的漏点，此时要注意观察真空度的改变，假如贴上真空泥之后真空度上升较快，拿掉之后又有了显着的下降，这说明就是一个漏点哦。然而，这个办法在实际检测顶用的比较少
二、真空计检漏法
部分真空计的读数与气体种类有关，例如电离真空计，热偶计。用合适的气体或许液体做示漏物质，这些真空计就成了探测器，一般镀膜机上都会有真空计，在实际使用中也是比较常用的检漏办法。热偶计的示漏物质有二氧化碳，丁烷，酒精等，热偶计的反响比较慢，要仔细观察。用于电离计的示漏物质主要有氦，，酒精等。
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