




真空箱式氦检漏设备【安装调试】
1、交易完成后,供方负责给需方安装调试。
2、供方将在合同签定后尽快向需方提供设备外形尺寸、设备电功率、供电位置、用水(气)压力、用水(气)量、管径等。设备到货后,供方在7天内尽快安装完成,真空箱式氦检漏,并由用户进行水、电、气等的配套安装之后,供方再对设备进行调试。
3、保证需方及时方便地使用设备。
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用氦气作为氦质谱检漏气体的原因
1、氦在空气中及真空系统残余气体中的含量(在空气中约含5.2ppm), 在材料出气中也很少,因此本底压力小,输出的本底电流也小。正因为本底小,由某些原因引起本底的波动,亦即本底噪声也
就小,因此微小漏率也就能反应出来,灵敏度高。
2、氦的质量小(相对分子质量为4),易于穿过漏孔。这样,氦较除氢以外的其他气体通过同-漏孔的漏率就大,容易发现,灵敏度高。

中国·必威(西汉姆联)官方网站的基本原理与结构
中国·必威(西汉姆联)官方网站一般由质谱管,真空系统和电子系统组成。其中质谱管包括离子源,质量分析器和离子检测器;真空系统-般由分子泵机械泵、电磁阀和真空计组成。离子源的作用是将原子电离成带电离子并聚焦成束,以-定能量注入质分析器,目前常用的电子轰击型离子源有尼尔型和震荡型两种形式。质分析器的作用起将各类离子按其质荷比的不同实现分离。子检测器的作用是手机质星分析器所选定的氦离子流并加以放大,再通过比对运算,真空箱式氦检漏系统,得出泄漏率
真空系统的作用是获取质谱过程所需的真空,真空箱式氦检漏系统,同时完成被检件的抽空和氦气的引入。空系统-般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成组成。按照真空系统的不同结构,检漏仪分为常规系统和逆扩散两种。常规系统多用于早期的中国·必威(西汉姆联)官方网站,该种检漏仪的被检件与高真空部分直接相通,由被检件泄入的氮气首先到达质谱管被检到,因而具有较高的灵敏度,但是会对质谱管有污染。逆扩散系统检漏仪与常规系统相比,被检件只与低真空相通,因
此只需将被检工件抽至低真空就能进行检漏,氦气是逆扩散到质谱管,不会对系统有污染,真空箱式氦检漏系统,因此被广泛采用,已成为市场的主品。
机械泵的工作方式不-样,分为干泵检漏仪和油泵检漏仪,油泵工作会有油雾排出,污染工作环境,干泵没有油雾排出对工作环境没有影响。在半导体洁净车间都是使用干泵检漏仪。