用氦气作为氦质谱检漏气体的原因
1.氦是惰性气体，不与被检件器壁起化学反应，不会污染被检件.使用安全。
2、在氮两侧的是氢(质荷比为2)和双电荷原子碳(质荷比为6)，质荷比都与氮相差较大。这样，它们在分析器中的偏转半径相差也大，氦检漏设备，容易分开，定标找氨峰时，不易受其他离子的干扰，因此就降低易于加工。同时，分析器出口电极及离子源加速极的隙缝也可以加大，使更多的氦离子通过，提高了仪器灵敏度。
氦气检漏设备的特点和优点
说到氦气检漏设备的特点，首先，我们还需要注意核心部件分子泵，氦检漏设备价格，使用原装进口的检漏仪专用的分子泵。美国AD放大器用于有效降低氦气检漏设备的噪声并提高氦气检漏设备的灵敏度。 180度非均匀磁场质谱仪设计用于聚焦和高灵敏度。
氦气检漏设备的检漏口具有较高的耐压性，检漏率范围广，可检出较大的泄漏和较小的泄漏。 离子源灯丝采用氧化钇铱金丝，寿命长，灵敏度高。 独特的三屏切换，信息替换更丰富，检漏更方便； 它具有快速氦气清洗功能和快速响应功能。
氦气检漏设备可实现一键归零； 采用全自动液晶触摸彩屏显示，实现智能自动化，操作更方便，简单可靠； 中英文菜单，菜单可以一键实现，实际使用效果突出。
用氦气作为氦质谱检漏气体的原因
1、氦在被检件及真空系统中不易被吸附。这样检出一个漏孔可以使氮信号迅速消失以便继续进行检漏，提高了仪器的检漏效率。
2.氢气有些性能(如质量小、易通过漏孔)比氦还好，然而由于氢一方面有 危险，另- -方面在油扩散泵中，由于油受热裂解会产:大量的碳和氢，氦检漏设备维修，使氢本底极高且波动大，以致灵敏度大大降低，所以很少采用。
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