真空箱式氦检漏设备
适用对各类被检要求气密性漏率的产品（以下简称工件）进行真空法检漏。同步对工件和真空箱抽真空，使工件内外压差不大0.04Mpa，对被检工件充注氦气，应用真空箱法进行氦质谱气密性检测，通过该装置判断出被检工件中的合格与不合格。然后将被检工件内的氦气回收循环使用，真空箱式氦检漏设备，向工件内充入规定压力的SF6工作气体。系统严格按照客户的要求设计制造，采用模块化的设计，充分考虑客户的检漏要求，同时也尽可能采用标准化的模块和部件，保证了系统的可靠性和可维护性。设备适应用电力行业，家用空调，真空箱式氦检漏设备厂家，制冷行业，汽车行业，新能源行业的气密性检测、应具有气体充注。大漏判定功能，微漏定量检漏功能，工件泄漏总的判定功能，并能满足连续生产的需求，具有较高的自动化程度，操作简便、安全、可靠。
用氦气作为氦质谱检漏气体的原因
1、氦在被检件及真空系统中不易被吸附。这样检出一个漏孔可以使氮信号迅速消失以便继续进行检漏，提高了仪器的检漏效率。
2.氢气有些性能(如质量小、易通过漏孔)比氦还好，然而由于氢一方面有 危险，另- -方面在油扩散泵中，由于油受热裂解会产:大量的碳和氢，使氢本底极高且波动大，以致灵敏度大大降低，所以很少采用。
用氦气作为氦质谱检漏气体的原因
1、氦在空气中及真空系统残余气体中的含量(在空气中约含5.2ppm)， 在材料出气中也很少，因此本底压力小，输出的本底电流也小。正因为本底小，由某些原因引起本底的波动，亦即本底噪声也
就小，真空箱式氦检漏设备保养，因此微小漏率也就能反应出来，灵敏度高。
2、氦的质量小(相对分子质量为4)，易于穿过漏孔。这样，氦较除氢以外的其他气体通过同-漏孔的漏率就大，容易发现，灵敏度高。
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