真空箱法氦质谱检漏的原理与系统特点
真空箱法氦质谱检漏的充气回收检漏系统
1．配置与气路控制
真空箱：一般为双工位，两个不锈钢真空箱，开门装置可采用液压方式，或加配重的手动方式。
工件抽空系统：低真空泵及阀门，真空箱氦检漏设备维修，低真空测量充氮与回收系统：氦气储存罐(高压罐)，氦气回收取罐(低压罐)，主压缩机，辅压缩机，电池氦检漏设备维修，过滤器以及一些高压阀和真空阀门等。
真空箱抽气系统：为自动控制型，由面板、PLC系统(可编程逻辑控制器)，充氦回收系统，真空箱抽气系统的电路部分以及为自动检漏过程提供参考信号的压力传感器和热偶计，同时，实施对整个系统的工作控制，对检漏过程和结果显示。
2.系统检测过程
1)、通过v1、V4，泵系统对工件和真空箱抽真空，如果限定的时间内抽到限定的真空度，此时，电气控制系统关闭V1，打开V2
2)、充氦系统通过V2对工件进行充氦至核定的压力，稳定，关闭V2
3)、关闭V4，打开V3、V5，处在正常工作状态待命的中国·必威(西汉姆联)官方网站进行检漏，如果不漏，电气控制系统指挥关断V3、V5，打开V2对氦气进行回收。
4)、关闭V2打开V6对真空箱放气，开启真空箱更换工件。
5)、如果第三点检漏仪检测到超过设定值(漏率)的工件，检漏仪声光报警，将：工作内的氦气回收，汽车零部件氦检漏设备维修，对真空箱和管道巾的氦气通过清洁泵抽除，免得影响检漏仪的检测效果和不污染检漏仪。
6)、维持泵有一定的氦分流作用，不宜过大(不超过41)，清洁泵也同样。
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用氦气作为氦质谱检漏气体的原因
1、氦在被检件及真空系统中不易被吸附。这样检出一个漏孔可以使氮信号迅速消失以便继续进行检漏，提高了仪器的检漏效率。
2.氢气有些性能(如质量小、易通过漏孔)比氦还好，然而由于氢一方面有 危险，另- -方面在油扩散泵中，由于油受热裂解会产:大量的碳和氢，使氢本底极高且波动大，以致灵敏度大大降低，所以很少采用。
真空箱氦检漏的特征和优点
1、高压氮气强度检测真空箱内进行，保护操作者安全
2、真空箱内氦气本底抑零，氦检漏设备维修，保证了检漏的准确性、高精度。
3、检漏仪的自动校准功能以及自动校准程序，可随时校准检漏仪的灵敏度、准确度。
4、特殊设计的检测程序判断出具体的有漏工件，并通过灯光和液晶操作屏显示出来。
5、专利技术的密封接头，减少误判。
6、电气控制系统的连锁保护及声光报警功能，确保了系统的操作安全及可靠运行。
7、PLC控制，使系统运行清晰明了，实现了实时监测及控制。
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